ภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด FE-SEM,SEM,EPMA Image

ภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด FE-SEM,SEM,EPMA Image

ภาพที่ได้จากกล้องจุลทรรศน์ไมโครสโคปไม่ว่าจะจากเครื่อง SEM, FE-SEM และ EPMA จะได้ภาพลักษณะเดียวกัน จะแตกต่างกันในเรื่องของความสามารถแจกแจงรายละเอียด ของภาพ (Resolution) โดย FE-SEM จะอยู่ระหว่าง 0.8 nm-1.5 nm. ,SEM 3-3.5 nm. และ EPMA 7-8 nm. FE-EPMA ประมาณ 3-3.5 nm.(นาโนเมตร)

* SEI  Secondary Electron Image  เกิดจาก Primary  electron ที่ได้จากการยิงของปืนอิเล็กตรอน (Electron Gun) ที่ใส้หลอด(Filament) ทำมาจากทังสเตน(W) ยิงมากระทบตัวอย่างและสะท้อนกลับ เป็นSecondary Electron แล้วมีตัวตรวจจับ PMT (Photo multiply tube) แปลง Primary  electron เป็นสัญญาณไฟฟ้า และมีชุดแปลงสัญญาณไฟฟ้าเป็นสัญญาณภาพต่อ

**   BEI Backscattered Electron Image  จะมีโหมด COMPO และ TOPO โดยตัวตรวจจับสัญญาณ BEI  จะรับสัญญาณ Backscattered Electron ที่สะท้อนจาก ตัวอย่างมาแปรผลเป็นภาพในโหมดต่างๆ

– COMPO Mode สัญญาณ Backscattered Electron ที่ตัวตรวจจับรับได้แต่ละบริเวณ จะแปรผลตามเลขอะตอม (Atomic number,Z) ถ้าตัวอย่างมีเนื้อสารไม่หมือน หรือไม่ เป็นเนื้อเดียว การแปรผลออกมาจะได้ภาพหลายเฉดสี โดยธาตุเบาจะมีเฉดสีมืด(ดำ) ธาตุหนักจะมีเฉดสีเทา ไปสีสว่าง (ขาว)

COMPO +SHADOW Modeเพิ่มเงาให้ภาพในโหมด COMPO Modeให้มีมิติมากยิ่งขึ้น – TOPO Mode คือภาพ topography แสดงลักษณะทางกายภาพและทางธรรมชาติของ ตัวอย่างรวมถึงความสูงต่ำ ลึกตื้นของผิวตัวอย่าง

– TOPO Mode +SHADOW เพิ่มเงาให้ภาพในโหมด TOPO Mode ให้มีมิติมากยิ่งขึ้น

ภาพ BEI ที่แสดงในบทความนี้ได้จาก BEI Detector เป็นแบบ P-N Junction และBEI Detector แบบอื่นๆเช่น แบบ Robinson Detector, YAK Detector

เรามาดูภาพที่ได้ในแต่ละแบบกัน
1.ภาพ SEI Secondary Electron Image ใน HV โหมด(HV SEM,High vacuum SEM) สูญญากาศสูง

2.ภาพ SEI Secondary Electron Image ใน LV โหมดโหมดสูญญากาศต่ำ    (LV SEM,LOW vacuum SEM)

3.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO ใน HV โหมดสูญญากาศสูง    (HV SEM,High vacuum SEM)

4.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO +SHADOW ใน HV โหมดสูญญากาศสูง (HV SEM,High vacuum SEM)

5.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO ใน HV โหมดสูญญากาศสูง    (HV SEM,High vacuum SEM)

6.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO +SHADOW ใน HV โหมดสูญญากาศสูง    (HV SEM,High vacuum SEM)

7.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO +SHADOW ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ (LV SEM,LOW vacuum SEM)

8.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ (LV SEM,LOW vacuum SEM)

9.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO+SHADOW  ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ    (LV SEM,LOW vacuum SEM)

10.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ     (LV SEM,LOW vacuum SEM)

***************************************************************************
FE-SEM image,SEM Image,EPMA Image,BEI COMPO,BEI TOPO,SEI,BEI COMPO SHADOW, BEI TOPO SHADOW,ภาพSEM,ภาพจากกล้องจุลทรรศน์

บทความน่าสนใจอื่นๆ

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

   

ใส่ความเห็น

Fill in your details below or click an icon to log in:

WordPress.com Logo

You are commenting using your WordPress.com account. Log Out / เปลี่ยนแปลง )

Twitter picture

You are commenting using your Twitter account. Log Out / เปลี่ยนแปลง )

Facebook photo

You are commenting using your Facebook account. Log Out / เปลี่ยนแปลง )

Google+ photo

You are commenting using your Google+ account. Log Out / เปลี่ยนแปลง )

Connecting to %s