Paper analysis กระดาษ เยื้อกระดาษ วิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และ EDS

กระดาษ เยื้อกระดาษ วิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และ EDS

บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com

กระดาษที่เรานำมาวิเคราะห์จะเป็นกระดาษขนาด A4, 70 และ 80 แกรม เป็นกระดาษ ที่เราใช้พิมพ์ ปริ้น ถ่ายเอกสารที่เราคุ้นๆกัน เราจะตัดมาวิเคราะห์ขนาด 0.5×0.5 cm. เท่านั้น นำมาเป็นตัวอย่าง 2 ยี่ห้อ เราจะวิเคราะห์กระดาษด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และวิเคราะห์ธาตุด้วย เครื่อง EDS/EDX กันต่อ

เราจะวิเคราะห์กระดาษ 2 แบบ
1.แบบสูญญากาศสูง high vacuum วิเคราะห์แบบนี้ต้องทำให้กระดาษนำไฟฟ้า ด้วยการ นำกระดาษไปฉาบเคลือบทอง หรือสามารถฉาบด้วยคาร์บอน,พาราเดียม,แพตตินัม ข้อดี การวิเคราะห์แบบนี้ จะได้ภาพแบบ SEI ที่มีความคมชัด และขึ้นกำลังขยายสูงได้ดี ข้อเสีย การวิเคราะห์ด้วย EDS/EDX ค่า Light Element% จะมีค่า Error มากกว่าเรา ไม่ฉาบเคลือบสารให้นำไฟฟ้าเลย

2.แบบสูญญากาศต่ำ low vacuum วิเคราะห์แบบนี้ไม่ต้องทำให้กระดาษนำไฟฟ้า ข้อดี การวิเคราะห์แบบนี้ จะได้ภาพแบบ BEI COMPO แต่ความคมชัดน้อยกว่า SEI และจะได้ภาพที่แยกเฉดสีตามอะตอมมิค (atomic Z) และที่สำคัญจะได้ผลการ วิเคราะห์EDS ที่ดีกว่าแบบฉาบเคลือบให้นำไฟฟ้าก่อน ไม่ว่าจะเป็นฉาบคาร์บอน,ทอง, พาราเดียม,แพตตินัม

ตามภาพเป็นกระดาษ 70 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 50 เท่า สเกล 500 um (ไมครอน ) หรือ 0.5 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
และกระดาษ 70 gsm ฉาบเคลือบด้วยทองคำ 99.99% เพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 70 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 50 เท่า สเกล 500 um (ไมครอน ) หรือ 0.5 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด low vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
และกระดาษ 70 gsm ไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองคำให้นำไฟฟ้า ไม่ทำลายตัวอย่าง
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 70 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 200 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
และกระดาษ 70 gsm ฉาบเคลือบด้วยทองคำ 99.99% เพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com


ตามภาพเป็นกระดาษ 70 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 200 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด low vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
และกระดาษ 70 gsm ไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองคำให้นำไฟฟ้า ไม่ทำลายตัวอย่าง
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com


ตามภาพเป็นกระดาษ 70 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 1000 เท่า สเกล 10 um (ไมครอน ) หรือ 0.01 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
และกระดาษ 70 gsm ฉาบเคลือบด้วยทองคำ 99.99% เพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 70 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 1000 เท่า สเกล 10 um (ไมครอน ) หรือ 0.01 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด low vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
และกระดาษ 70 gsm ไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองคำให้นำไฟฟ้า ไม่ทำลายตัวอย่าง
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

เรามาวิเคราะห์กระดาษ 70 gsm ด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุกันต่อ
วิเคราะห์ธาตุเชิงคุณภาพโหมด high vacuum (HV SEM)

วิเคราะห์ธาตุเชิงคุณภาพ โหมด low vacuum  (LV SEM)

สรุปการวิเคราะห์เชิงคุณภาพ ทั้ง 2โหมดจะได้ธาตุที่ใกล้เคียงกัน โหมด High vacuum จะได้ C คาร์บอน, O ออกซิเจน, Ca แคลเซียม,Cu ทองแดง,Zn สังกะสี โหมด low vacuum จะได้ธาตุเหมือนๆ HV SEM จะมี Al อลูมิเนียมเท่านั้นที่เพิ่มมาอีกหนึ่งธาตุ

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด high vacuum (HV SEM)
สามารถวิเคราะห์ได้ในแบบ
1.Element % (weight % , wt% , Concentrate %)
2.Compound %

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด high vacuum (HV SEM) แบบกราฟแท่ง Element %

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด low vacuum (LV SEM)
สามารถวิเคราะห์ได้ในแบบ
1.Element % (weight % , wt% , Concentrate %)
2.Compound %

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด low vacuum (LV SEM) แบบกราฟแท่ง Element %

สรุปการวิเคราะห์เชิงปริมาณ Element% ที่ได้จะแตกต่างระหว่าง Highและ Low vacuum โดยที่ Low vacuum จะสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา light element ได้ดีกว่า ที่เป็นเช่นนี้ เพราะที่ low vacuum เราไม่ได้ฉาบเคลือบทองที่เป็นธาตุหนัก (heavy element) ที่จะไป ทำให้ค่าปริมาณธาตุเบาผิดไป มีคำถามต่อว่าถ้าเราฉาบด้วยคาร์บอนแทนทองละ ธาตุอื่นๆ ที่ค่า Z มากกว่าคาร์บอนคงไม่มีปัญหามาก แต่การวิเคราะห์คาร์บอน หรือธาตุที่ต่ำกว่าคาร์ บอน จะได้ค่าที่ผิดไปบ้าง   (การเช็คค่า Error ค่าที่ผิดไป และค่า Accuracy รอบทความต่อๆไปครับ)

แต่ถ้าตัวอย่างเรานำไฟฟ้าได้ โดยที่ไม่ต้องการฉาบเคลือบสารให้นำไฟฟ้า เราก็สามารถดู และวิเคราะห์ธาตุในโหมด High vacuum ได้เลย ซึ่งผลวิเคราะห์ EDS กรณีนี้ จะดีกว่าผล ที่เราวิเคราะห์ในโหมด Low vacuum แน่นอนครับ

หลังจากเราทราบผลเชิงปริมาณเชิงคุณภาพมาแล้ว เรามาดูการกระจายตัวของแต่ละธาตุ กันว่า อยู่บริเวณและตำแหน่งใหนกันบ้าง ตามภาพด้านล่าง เทียบกับภาพ SEM ช่องแรก ซ้ายมือบนสุด ยกตัวอย่างเราดูการกระจายตัวของ Ca แคลเซียม เราก็จะดูเฉพาะช่อง Ca ตำแหน่งของ Ca ก็คือบริเวณโทนสีสว่าง ขาวคือมีมากสุด ส่วนสีน้ำเงินมีน้อย สีดำคือไม่มี Ca ณ.บริเวณ นี้เลย ช่องอื่นๆก็ดูและเทียบคล้ายๆกัน

ตามภาพล่าง คือการวิเคราะห์การกระจายตัว Speed mapping  โหมด HV SEM

ตามภาพล่าง คือการวิเคราะห์การกระจายตัว Speed mapping  โหมด LV SEM

จากที่เราได้ทำ mappingทำให้เราทราบการกระจายตัวและตำแหน่งของสารแต่ละตัว เช่นตำแหน่งกลุ่มเม็ดก้อนสีขาวๆตามภาพ SEI และ BEI COMPO จะเป็นตำแหน่งของ สาร/ธาตุ แคลเซียมนั้นเอง

เรามาวิเคราะห์กระดาษ 80 gsm. กันต่อครับ

ตามภาพเป็นกระดาษ 80 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 50 เท่า สเกล 500 um (ไมครอน ) หรือ 0.5 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
และกระดาษ 80 gsm ฉาบเคลือบด้วยทองคำ 99.99% เพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 80 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 50 เท่า สเกล 500 um (ไมครอน ) หรือ 0.5 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด low vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
และกระดาษ 80 gsm ไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองคำให้นำไฟฟ้า ไม่ทำลายตัวอย่าง
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 80 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 200 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
และกระดาษ 80 gsm ฉาบเคลือบด้วยทองคำ 99.99% เพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 80 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 200 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด low vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
และกระดาษ 80 gsm ไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองคำให้นำไฟฟ้า ไม่ทำลายตัวอย่าง
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 80 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 1000 เท่า สเกล 10 um (ไมครอน ) หรือ 0.01 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
และกระดาษ 80 gsm ฉาบเคลือบด้วยทองคำ 99.99% เพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็นกระดาษ 80 gsm
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 15kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 1000 เท่า สเกล 10 um (ไมครอน ) หรือ 0.01 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด low vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
และกระดาษ 80 gsm ไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองคำให้นำไฟฟ้า ไม่ทำลายตัวอย่าง
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

เรามาวิเคราะห์กระดาษ 80 gsm ด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุกันต่อ วิเคราะห์ธาตุเชิงคุณภาพ โหมด high vacuum (HV SEM)

วิเคราะห์ธาตุเชิงคุณภาพ โหมด low vacuum  (LV SEM)

สรุปการวิเคราะห์เชิงคุณภาพ ทั้ง 2โหมดจะได้ธาตุที่ใกล้เคียงกัน โหมด High vacuum จะได้ C คาร์บอน, O ออกซิเจน, Ca แคลเซียม,Cu ทองแดง,Zn สังกะสี โหมด low vacuum จะได้ ธาตุเหมือนๆ HV SEM แต่จะมี Si ซิลิกอน,Cl ครอรีน ที่เพิ่มมาอีก2ธาตุ

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด high vacuum (HV SEM)
สามารถวิเคราะห์ได้ในแบบ
1.Element % (weight % , wt% , Concentrate %)
2.Compound %


วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด high vacuum (HV SEM) แบบกราฟแท่ง Element %

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด low vacuum (LV SEM)
สามารถวิเคราะห์ได้ในแบบ
1.Element % (weight % , wt% , Concentrate %)
2.Compound %

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ โหมด low vacuum (LV SEM) แบบกราฟแท่ง Element %

สรุป ผลการวิเคราะห์เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ ในโหมด Low vacuum จะสามารถ วิเคราะห์ Element เพิ่มมาอีก 2 ธาตุคือ Si และ Cl ซึ่งมีปริมาณน้อยมาก โดยที่ทั้งสอง ธาตุไม่สามารถ วิเคราะห์เจอในโหมด high vacuum

และถ้าเทียบระหว่างกระดาษ 70แกรมและ 80แกรม เราจะพบได้ว่ากระดาษ 70 แกรม จะมี %ของแคลเซียมมากกว่า 80แกรม (ที่กำลังขยาย 50 เท่า)

หลังจากเราทราบผลเชิงปริมาณเชิงคุณภาพมาแล้ว เรามาดูการกระจายตัวของแต่ละธาตุ กันว่า อยู่บริเวณและตำแหน่งใหนกันบ้าง ตามภาพด้านล่าง เทียบกับภาพ SEM ช่องแรก ซ้ายมือบนสุด ยกตัวอย่างเราดูการกระจายตัวของ Ca แคลเซียม เราก็จะดูเฉพาะช่อง Ca ตำแหน่งของ Ca ก็คือบริเวณโทนสีสว่าง ขาวคือมีมากสุด เขียวรองลงมา ส่วนสีน้ำเงินมีน้อย สีดำคือ ไม่มี Ca ณ.บริเวณนี้เลย ช่องอื่นๆก็ดูและเทียบคล้ายๆกัน
ตามภาพล่าง คือการวิเคราะห์การกระจายตัว Speed mapping  โหมด HV SEM


ตามภาพล่าง คือการวิเคราะห์การกระจายตัว Speed mapping  โหมด LV SEM

หมายเหตุ : การทำ Mapping ควรให้ค่า Cts.แต่ละช่องมี่ค่าเท่ากับหรือมากกว่า 10 Cts. ตามภาพ mapping ตัวอย่างค่าแต่ละช่อง ส่วนใหญ่ต่ำกว่า 10 (ทำเป็นตัวอย่าง)

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ) หรือมา
ติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่ อยู่ครับ
ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************
กระดาษ,เยื้อกระดาษ,วิเคราะห์กระดาษ,ทดสอบกระดาษ,paper,paper analysis,paper 70gsm., paper 80gsm.,กระดาษ 70 แกรม,กระดาษ 80 แกรม

บทความน่าสนใจอื่นๆ

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

Advertisements

Detector Cool Down สำหรับเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX

Detector Cool Down สำหรับเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX

บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com

หลังจากเทศกาลหยุดยาวไม่ว่าจะวันปีใหม่ วันสงกรานต์ สำหรับท่านที่ใช้เครื่อง วิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX
ที่ได้ทำ Detector warm up ตัวตรวจจับ(Detector) ไว้ก่อนหน้านี้ โดยที่ Detector ที่ว่าเป็นแบบจะต้องเติม
LN2 ในโตรเจนเหลวไว้ ตลอดเวลา แต่ถ้าไม่ต้องการใช้ หรือไม่มี LN2 เราก็สามารถ Warm up เพื่อหยุด
การใช้เป็นการชั่วคราวได้ (เครื่อง EDS OXFORD Link ISIS 200/300) ถ้าจะกลับ มาใช้หลังหยุดยาว
มีวิธีมาแนะนำครับ


ส่วนท่านที่ใช้ EDS INCA Series และยี่ห้ออื่นรอวิธีการกับบทความต่อไปนะครับ
ขั้นตอนการทำ Detector Cool Down

เปิดสวิทช์ LINK ISIS Tower ให้ทำงาน เราจะได้ยินเสียง Alarm จาก ISIS Tower หลังจากนั้นให้เราเปิดคอมฯ
และเข้าโปรแกรม LINK ISIS เมื่อเปิดโปรแกรม LINK ISIS จังหวะที่โปรแกรมกำลังเปิดหน้า Labbook ขึ้นมา
จะมีหน้า warning message *** LN2 LOW *** ซึ่งหมายถึงระดับ LN2 ในโตร เจนอยู่ในระดับต่ำมาก หรือไม่มี
LN2 อยู่ภายใน Detector dewar เลย

ตามภาพ warning message โชว์ “Crystal warm” มีความหมายว่าหน้า Crystal  เราอุ่น(warm)ไม่พร้อมใช้งาน
สถานะพร้อมใช้งานจะต้อง Coolหรือเย็นเท่านั้นปกติ บริเวณ Crystal อุณภูมิจะประมาณติดลบ -40 ถึง-50 องศา
ถึงจะพร้อมใช้งาน กรณี นี้เราต้องทำ Detector cool down เพื่อจะกลับมาใช้งาน EDS/EDX ได้
จะเห็น  warning message นี้ปรากฎขึ้นมาแสดงว่า เราไม่ได้เติม LN2 มาเป็นเวลานาน และครั้งแรกที่ทำการติดตั้ง
EDS/EDX


หลังจากเราเปิดโปรแกรม Link ISIS เราจะเห็น window Labbook โชว์ขึ้น มาตามภาพ ด้านล่าง ขั้นตอนต่อไป
ให้เราคลิกที่รูป Detector ตามกรอปสีส้ม

ข้อควรระวัง : ในการทำ Detector cool down ในทุกๆครั้ง หลังเราหยุดใช้ งาน Detector เป็นระยะนานด้วยการทำ
Detector warm up มาก่อนหน้าหรือ จะเป็นการขั้นตอนการติดตั้งของช่างเองในตอนแรก นั้นก็คือ ก่อนทำ
Detector cool down เราจะต้องเปิดเครื่อง SEM,FE-SEM, EPMA,TEM ให้อยู่ในสภาวะ Vacuum ก่อน และที่
สำคัญกว่าจะต้องปรับ สภาพอุณหภูมิห้อง และDetector dewar เองโดยการเปิดแอร์ 23-25 องศา ประมาณ 1-2
ชั่วโมงอย่างต่ำ ถ้าเป็นไปได้ 3-4 ชั่วโมงจะดีมาก
ถ้าไม่ทำโอกาสจะเจอ Thermal shock,มีไอน้ำแข็งเกาะบริเวณ Crystal ซึ่ง จะเป็นสาเหตุ Detector resolution
ไม่ดี,% Dead timeสูง หรือสวิงไม่นิ่ง, ไม่สามารถวิเคราะห์ Light element ได้ และอื่นๆ
ถามว่าถ้าเกิดปัญหาเหล่านี้มีทางแก้ไหม มีครับ ติดตามบทความต่อๆไปนะครับ

หลังจากที่เราคลิกรูป Detector จะมีหน้า Spectrum detail และ Detector and set up ปรากฎตามภาพล่าง

ในหน้านี้ทำอะไรได้บ้างนอกจากจะทำ Detector Cool down ในส่วนนี้สามารถ ทำการสอบเทียบ Calibration,
ละลายน้ำแข็งและปรับสภาพตัวตรวจจับวัดด้วย โหมด Conditioner และ Discriminator, Detector Config ,
Detector Warm upและอื่นๆ ซึ่งจะ นำเสนอในบทความต่อๆไป


ตามภาพให้เราคลิกเมาท์ที่เมนู Detector

เราจะเห็นเมนูคำสั่งย่อยขึ้นมาตามภาพ เราจะเห็นคำว่า Detector Cool Down เป็นตัวหนังสือสีดำ ความหมายคือ
สถานะ Detector ตอนนี้ Detector/Crytal นั้น warm อยู่ ไม่พร้อมใช้งาน
ให้เราคลิก Detector Cool Down ตามภาพ เมื่อคลิก Detector Cool Down เสียง Alarm จาก ISIS Tower
จะเงียบไป หรือจะคลิกที่ LN2 Alarm reset 1ครั้งเสียงก็จะเงียบเหมือนกัน

ตามภาพ เราจะยืนยันการทำ Detector cool down ก็ให้เราคลิก Yes


หลังคลิก Yes ในขั้นตอนนี้ต้องระวัง 10นาทีแรก ห้ามเติม LN2 ก่อนเครื่องจะพร้อมให้เติม

หลังเราคลิก OK จะมีหน้าโชว์ระยะเวลาในการทำ Detector cool down ทั้งหมด 1 ชั่วโมง 15 นาที
 (10 นาทีแรกห้ามเติม LN2)


เมื่อมาถึงเวลาที่ 1 ชั่วโมง 5 นาที


ตามภาพล่าง เมื่อผ่าน 10 นาที เครื่องจะให้เราเติม LN2 ในโตรเจนเหลว เราจะต้อง เติม LN2 ในโตรเจนเหลว
ให้เต็ม Detector dewar (ระวัง)ก่อนแล้ว จะ คลิก OK ได้

หลังคลิก OK ขั้นตอนจะต้องรอไปอีก 1 ชั่วโมง 5นาทีเครื่องถึงจะเสร็จขั้นตอนของการ ทำ
Detector cool down และพร้อมใช้งาน

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ)
หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่ อยู่ครับ
ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************
cool down,detector cool down,eds cool down,edx cool down

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

ภาพถ่ายกำลังขยายสูง กับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM

ภาพถ่ายกำลังขยายสูง กับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM

บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม)  มากๆค่ะ manatsanan2007@hotmail.com

ถ้าผมเปรียบเทียบรุ่นของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯให้คล้ายกับรุ่นรถยนต์ เราสามารถเปรียบเทียบรุ่นของกล้องตามประสิทธภาพของกล้องให้เหมือน รุ่นของรถได้ดังนี้

1.กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM(W Filament) =คล้ายรถ Vios/Jazz
Resolution กล้องแบบนี้จะอยู่ที่ 3 nm.(นาโนเมตร) ที่ 30 kV

2.กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM(LaB6 Filament) =คล้ายรถ Altis/Civic
Resolution กล้องแบบนี้จะอยู่ที่ 3 nm.(นาโนเมตร) ที่ 30 kV แต่ที่ low kV ภาพจะชัดกว่าแบบ W Filament ค่อนข้างมาก ที่0.5-15kV จะชัดกว่ามาก

3.กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ FE-SEM(W Filament) =คล้ายรถ Camry/Accord Resolution กล้องแบบนี้จะอยู่ที่ 0.8-1.5 nm.(นาโนเมตร) ที่ 15 kV กล้องแบบนี้ดีสุด แพงสุด และที่สำคัญให้บริการน้อยสุดในเมืองไทย

ในเมื่อกล้องแบบ FE-SEM ดีสุดแต่มีให้บริการและรับบริการ ไม่ถึง 1 % จากเครื่องทั้งหมดในเมืองไทย ทำให้ไม่เพียงพอต่อความต้องการ

บทความนี้ผมจะใช้กล้องกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM(W Filament) ซึ่งเป็นรุ่นต่ำสุด มาลองถ่ายภาพที่กำลังขยายสูง เพื่อแก้ขัด กับการขาด แคลนของ FE-SEM กัน มาลองดูกันครับ (ความคมชัดของภาพในบทความลงเป็นไฟล์ JPEG. แต่ต้นฉบับเป็น BMP.)

ตามภาพเป็น Latex (ภาพนี้ใช้ 20kV) 1 แสนเท่า
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20 kV (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 100k เท่า สเกล 0.1 um (ไมครอน ) หรือ 0.0001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #1
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

* ปกติเครื่อง SEM/EPMA ถ่าย high resolution จะต้องใช้ตัวอย่าง Au particle (Gold)
ใช้ Acc. 30 kV   Aperture #1
** ปกติเครื่อง FE-SEM ถ่าย high resolution จะต้องใช้ตัวอย่าง Au particle (Gold)
ใช้ Acc. 15 kV และ 1 kV (ส่วนตัวชอบถ่าย 0.5 kV 1แสนเท่า) Aperture #1

SEM High resolution check

ตามภาพเป็น Latex (ภาพนี้ใช้ 30kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 30kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 75k เท่า สเกล 0.1 um (ไมครอน ) หรือ 0.0001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #1
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 75k เท่า สเกล 0.1 um (ไมครอน ) หรือ 0.0001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

หมายเหตุ : ตัวอย่าง Latex ปกติจะถ่ายกำลังขยายไม่เกิน 35k (35,000) เท่า                
                    การถ่ายภาพกำลังขยายสูงบางตัวอย่างขึ้นกำลังขยายสูงได้ บางตัวอย่าง                 
                    ใช้ Condition ตาม 2 ภาพบนก็ไม่สามารถจะถ่ายได้ (W Filament)                 
                    ชัดเท่ากับภาพสองภาพด้านบนได้

ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 30kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 30kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 50k เท่า สเกล 0.5 um (ไมครอน ) หรือ 0.0005 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com


ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 35k เท่า สเกล 0.5 um (ไมครอน ) หรือ 0.0005 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

หมายเหตุ : การใช้ Aperture #1 จะชัดกว่า #2

ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 20k เท่า สเกล 1um (ไมครอน ) หรือ 0.001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 5 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 20k เท่า สเกล 1um (ไมครอน ) หรือ 0.001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 5 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

สำหรับ SEM Resolution check ส่วนใหญ่จะใช้ Gold particle สำหรับการเช็ค และจะเช็คที่กำลังขยาย 100k เท่า ถ้า FE-SEM ก็จะเช็คที่ 100-250k เท่าครับ

ครับผลของการถ่ายภาพออกมา ก็พอแก้ขัดได้ดีพอควร กับการที่ FE-SEM ไม่ เพียงพอ แต่การถ่ายภาพแบบนี้ใช่ว่าทุกเครื่องจะสามารถถ่ายได้ เครื่องดีแต่คน ถ่ายตั้งค่าในการถ่ายไม่ดี ก็ไม่สามารถถ่ายภาพออกมาได้ตามตัวอย่างภาพด้าน บนได้ ขึ้นอยู่กับคนขับ(คนถ่าย)แล้วละครับ ที่จะต้องใช้ฝีมือในการถ่าย แต่ถ้า เป็น FE-SEM บอกได้เลยครับถ่ายง่ายกว่า SEM ถึง 10เท่าเลยละครับ

ติดตามบทความต่อๆไปนะครับ จะนำเทคนิคถ่ายภาพให้ได้สวย และชัด และ สามารถขึ้นกำลังขยายได้สูง ติดตามกันนะครับ

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ Big C จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ) หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ไม่ค่อยได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่ อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

ขอขอบคุณ เจ้าของตัวอย่าง Latex Standard : Mr.David Lee (Do SEM)

***************************************************

Resolution,resolution check,SEM resolution check,ภาพกำลังขยายสูง, ภาพSEMกำลังขยายสูง

บทความน่าสนใจอื่นๆ
ภาพถ่ายกำลังขยายสูง กับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM คลิก
Detector warm up สำหรับ OXFORD EDS คลิก
EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน คลิก
มหัศจรรย์หนอนผีเสื้อ” วงศ์ Tineidae ” ผ่านกล้องจุลทรรศน์ คลิก

CAMEO คือเทคนิคการวิเคราะห์เฟสของวัสดุ เชิงคุณภาพด้วยเครื่อง EDS,EDX คลิก
โหมดภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด คลิก
การวิเคราะห์ธาตุ ตามแนวกำหนดเส้นส่องกราดแบบ Linescan คลิก
การวิเคราะห์การกระจายตัว และหาตำแหน่งของสาร/ธาตุ ด้วยวิธีการ Mapping คลิก
ส้มจิ๊ดถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์ฯ SEM และวิเคราห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก
วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ เชิงคุณภาพด้วย EDS,EDX คลิก
สะเก็ดแผล ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ คลิก
วิเคราะห์อิฐมวลเบา อิฐเบา อิฐขาว ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM,EDS/EDX คลิก 
แป้งเด็ก แป็งเย็น ผงแป้ง ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก
เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA แบบใหนดีกว่ากัน คลิก
วิเคราะห์เส้นผม วิเคราะห์เส้นขน คลิก
มหัศจรรย์ผึ้งน้อย คลิก
จุลินทรีย์ คือสิ่งสิ่งมีชีวิตที่สายตาเปล่า คนเรามองไม่เห็น คลิก
การวิเคราะห์เส้นใย สิ่งทอ เส้นไหม เส้นใยสังเคราะห์ fibers คลิก
วิเคราะห์ความเสียหายวัสดุและอุปกรณ์ ในวงการอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ฮาร์ดดิสก์ ไฟฟ้า คลิก
แร่ธาตุในข้าวหอมมะลิ คลิก
ผงชูรส และผงปรุงรส คลิก
วิเคราะห์สิว ด้วยกล้องจุลทรรศน์ คลิก
ความมหัศจรรย์ของหนวดหรือเคราฤาษี คลิก

ปากดีของมดดำ คลิก
ผมมันชั่ว ผมมันเลว คลิก
ฟองน้ำ ฟองน้ำ คลิก
เชื่อหรือไม่ว่าคือขนมปัง คลิก
แกงไก่หน่อไม้ดอง  คลิก
มาจุดธูปขอหวยกัน คลิก
พระเครื่องเก่าแก่ คลิก
บ้านและสวนสวย คลิก

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

Warm up,Detector warm up,EDS Warm up

Detector warm up

บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com

เมื่อถึงเทศกาลหยุดยาวไม่ว่าจะวันปีใหม่ วันสงกรานต์ สำหรับท่านที่ใช้เครื่อง วิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX ที่ตัวตรวจจับ(Detector) เป็นแบบจะต้องเติม LN2 ในโตรเจนเหลวไว้ตลอดเวลา กับเครื่อง EDS OXFORD Link ISIS 200/300 ถ้าไม่มีใครคอยเติม LN2 ช่วงวันหยุดละก็ มีวิธีมาแนะนำครับ

ส่วนท่านที่ใช้ EDS INCA Series ไม่ต้องกังวลครับ ถ้าชุด X-Stream ไม่ได้ ปิดไฟไว้ รุ่นนี้มันสามารถ Auto warm upได้ พอเราจะกลับมาใช้เราต้องมา สั่ง Detector Cool down  โดยไปสั่งที่ Detector Control เมนูแล้วทำตาม ขั้นตอนครับ (บทความต่อไป)

เปิดโปรแกรม LINK ISIS แล้วจะเห็น window Labbook โชว์ขึ้นมาตามภาพ ด้านล่าง ขั้นตอนต่อไปให้เราคลิกที่รูป Detector ตามกรอปสีส้ม

หลังจากที่เราคลิกรูป Detector จะมีหน้า Spectrum detail และ Detector and set up ปรากฎตามภาพล่าง

ในหน้านี้ทำอะไรได้บ้างนอกจากจะทำ Detector Warm up ในส่วนนี้สามารถ ทำการสอบเทียบ Calibration,ละลายน้ำแข็งและปรับสภาพตัวตรวจจับวัดด้วย โหมด Conditioner และ Discriminator, Detector Config และอื่นๆ ซึ่งจะ นำเสนอในบทความต่อๆไป


ตามภาพให้เราคลิกเมาท์ที่เมนู Detector

เราจะเห็นเมนูคำสั่งย่อยขึ้นมาตามภาพ เราจะเห็นคำว่า Detector Cool Down เป็นตัวหนังสือสีเทา ความหมายคือสถานะ Detector ตอนนี้ Detector/Crytal นั้นเย็นอยู่พร้อมใช้งาน

กรณีเราจะหยุดใช้งานเป็นเวลานาน หรือจะไม่มีใครเติม LN2 ช่วงหยุดยาว เรา ก็สามารถใช้คำสั่ง Detector Warm up ได้


ตามภาพ เราจะWarm Up ก็ให้เราเลื่อนเมาท์มาคลิกที่ Detector warm up

ถ้าเรายืนยันจะ Warm up ให้คลิก Yes.

เครื่องบางเวอร์ชั่น ISIS300 ที่เวอร์ชั่นสูงหน่อย จะมีหน้าตามภาพด้านล่าง ทำให้เราสามารถยกเลิกการ Warm up ได้ในขั้นตอนนี้ ถ้าเรายังจะWarm up เราก็รอต่อ 15 นาทีเพื่อให้ขั้นตอนการ Warm เสร็จสมบูรณ์และสามารถปิด PC ได้

เมื่อผ่าน 15 นาทีก็จะเสร็จทุกขั้นตอน และต่อไปนี้เราก็ไม่ต้องและห้ามเติม LN2 ในโตรเจนเหลวอีก จนกว่าเราจะใช้คำสั่ง Detector Cool Down (บทความต่อไป) ถึงจะกลับมาเติม LN2 ได้ และกลับมาใช้งานได้อีกครั้ง

คลิก OK เพื่อเสร็จขั้นตอนการ warm up หลังจากนั้นเราก็ปิด PC และ LINK ISIS Townwer ได้เลยครับ

มีคำถามว่าหลังจากเรา Warm up เราสามารถปล่อยให้ Detector อยู่โดยไม่ต้อง เติม LN2 ได้นานขนาดใหน นานเป็นอาทิตย์ เป็นเดือน เป็นปีก็สามารถทำได้ครับ ถ้าจะหยุดเป็นปีก็คงไม่ดีเท่าไร กลับมาใช้อาจจะ Resolution ไม่กลับมาเป็นค่าเดิม ก่อนหน้าที่เราจะทำ Warm up

ผมเองมีประสบการณ์กับ Detector ที่ Warm up ไว้ประมาณ 10ปี ไม่ได้ใช้งาน และหลังจากที่ทำ Detector cool down เพื่ิอกลับมาใช้งาน ผลปรากฏว่า Resolution เกิดตกท้องช้าง หมายถึง Resolution ที่ Process time 1-3(PT1-3)  มีค่าปกติ,แต่PT4 จะเท่าหรือใกล้เคียงPT3,PT5 ค่าใกล้เคียง PT2 ,และ PT1 ค่าใกล้เคียง PT6 ตอนนั้นวัดได้ 183ev. ค่าจริงแล้วจะต้องค่าใกล้เคียง 133ev.

ซึ่งในความเป็นจริง เครื่องปกติค่า PT1 จะมีค่ามากสุด ไปหาค่าน้อยสุดที่ PT6 ค่า PT6 ค่าจะต้องใกล้เคียงค่า Resolution ที่ระบุไว้บนสติกเกอร์ของ Detector (133ev.)สำหรับ Detectorที่มี Resolution ไม่ดีตัวนี้ผมก็มีวิธีแก้ครับ ผมสามารถ ทำให้กลับมาใช้งานได้เป็นปกติ (บทความต่อไป)

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ) หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่ อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************
Warm up,Detector warm up,EDS Warm up

บทความน่าสนใจอื่นๆ

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน

บทความนี้ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com

สำหรับ End User ที่ใช้เครื่องวิเคราะห์ธาตุ Oxford Link ISIS รุ่นนี้ End User สามารถเช็ค ด้วยตัวเองได้ แต่ถ้าเป็นรุ่นสูงกว่านี้ไม่ว่าจะเป็นรุ่น INCA series และ AZtec series ในส่วน End User ไม่สามารถทำได้เพราะต้องใช้ Engineer password (สำหรับ Enginee เท่านั้น)
การเช็คนี้สามารถเช็คการทำงานของบอร์ด Link ISIS Tower,Power supply,ISIS software ,Error และ Resolution
EDS Resolution ความสามารถแยกแยะแจกแจงความกว้างของพีค ค่านี้ยิ่งมีค่าน้อยยิ่งดี โดยทั่วไป EDS Resolution ค่านี้จะอยู่ระหว่าง 115 – 140 ev.(electron volt) เราจะทราบ ได้อย่างไรว่า EDS ที่เราใช้ Resolution เท่าไรกัน ไม่ยากครับ ให้เราดูที่ EDS Detector label ที่จะเป็นป้ายสติกเกอร์แปะติดเอาไว้ ด้านข้าง/ล่างของ Detector ให้ดูที่ข้อความ RESOL. AT Mn 5.9 Kev. จะระบุไว้ว่า Resolution เราจะเป็นเท่าไร ถ้าเป็นของ Oxford จะมี 133 ev. และ 138 ev. (บางรุ่นได้ถึง 115 ev.)


พอเราเช็คป้ายและทราบแล้วว่า Detector resolution มีค่าเท่าไรแล้ว ถ้าต้องการเช็คว่าได้ ตามที่ระบุไว้ไหม หรือตอนนี้ประสิทธิภาพของ Detector เราเป็นอย่างไรไม่ยากครับ

ตามภาพล่าง

ให้เข้าที่ Program > ISIS Setup > Customer Validation

หน้า Customer Validation จะเปิดขึ้นมาตามภาพ แล้วคลิกปุ่มเริ่ม Start ซ้ายมือตามภาพ

หลังคลิก Start ใช้เวลาไม่เกิน 5 วินาทีการเช็คบอร์ด Link ISIS Tower,Power supply, ISIS software,Error จะเสร็จสิ้น ยกเว้นการเช็ค Resolution ถ้าต้องการดูผลให้คลิกที่รูป ปริ้นเตอร์ ในที่นี้เราจะยังไม่ดูผล เราจะเช็คResolution ให้เสร็จก่อนแล้วดูผลทีเดียว ตาม ภาพล่างถ้าจะเช็คResolution ต่อให้คลิกปุ่มรูป Detector ต่อ

หรือที่เมนูคำสั่งคลิกที่ >Detector Diagnose

หน้า Detector Diagnosis

ช่องที่ทำเครื่องหมายสี่เหลี่ยมส้มแรก จะถามเราว่าเราทำการปรับสภาพตัวตรวจจับ(Detector) ล่าสุดเมื่อไร ให้เราใส่เป็นวันที่ หรือไม่ใส่ก็ได้   ส่วนช่องส้มที่สองจะถามเรา 4 ข้อ
ข้อแรก ถามว่าสายเคเบิลระหว่างตัวตรวจจับ กับบอร์ดต่ออยู่ไหม (คงไม่มีใครถอด)
ข้อสอง หมายเลข Attribute No.ตรงกับที่แสดงไหม เช็คหมายเลขได้ที่ Detector Label
ข้อสาม มีไอหรือหยดน้ำ รอบๆตัว Detector dewar ไหม
ข้อสี่   ระดับไนโตรเจน LN2 อยู่ในระดับไหม

ทั้งสี่ข้อถ้าไม่มีปัญหา และค่าตรงเราก็คลิก yes ทั้งหมด เสร็จแล้วคลิก Continue

การเช็คเพื่อไม่ให้ยุ่งยาก ให้เราเลือกใช้ Guided ตามภาพ

ขั้นตอนนี้เครื่องจะทำการเช็คบอร์ด DXP50 หรือ DSPP อัตโนมัติรอจนกระทั้ง Test Passed เสร็จทั้งสามช่อง เสร็จแล้วคลิก Continue

ขั้นตอนนี้ให้เราปิด Beam/Filament ของเครื่อง SEM ก่อน หลังจากนั้นคลิก OK

หลังจากคลิก OK เราจะได้ผลตามภาพล่าง ผลที่ได้เป็นปกติเราสามารถทำขั้นตอนต่อไปได้ โดยการคลิก Continue ต่อ แต่ถ้าขั้นตอนนี้มีปัญหาจะมีข้อแนะนำให้เราปฏิบัติตาม หรือขอ คำแนะนำจาก Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com ได้ครับ

ขั้นตอนนี้ให้เราเปิด Beam/Filamet และปรับ Beam Probe/Spot size ให้ได้ Input rate ระหว่าง 500 ไม่เกิน 1000 cps. และเช็คค่า Resolution ตรงกับ Detector label ไหม ถ้าตรง เสร็จแล้วคลิก OK

หลังคลิก OK ระบบจะเริ่มเช็ค Resoluion ตั้งแต่ Process Time 1 ถึง 6

ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time 5 และ 6 ไม่ดี จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพไม่ค่อยดี Peak จะกว้างและจะ Overlab ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ไม่ดี ความแม่นยำเชิงปริมาณลดลงไปเยอะ Resolution แบบนี้ไม่ลิเนียร์ หรือแบบตกท้องช้าง (แบบปกติต้องมากไปน้อยสุด)
ข้อแก้ไขปลายเหตุ ต้องหนีไปใช้ process time 4 แทนกรณีต้องการวิเคราะห์ เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ
ส่วนข้อแก้ไขต้นเหตุ ติดตามบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไป

ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time  6 ไม่ดี จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพไม่ค่อยดี Peak จะกว้างและจะ Overlab ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ไม่ดี ความแม่นยำเชิงปริมาณลดลงไปเยอะ
ข้อแก้ไขปลายเหตุ ต้องหนีไปใช้ process time 5 แทนกรณีต้องการวิเคราะห์ เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ
ส่วนข้อแก้ไขต้นเหตุ ติดตามบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไป

ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time 1- 6 ไม่มีปัญหา จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพดีมาก Peak จะแคบและจะไม่ Overlab ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ดี ความแม่นยำเชิงปริมาณเชิงคุณภาพจะสูง
Resolution ที่เราเช็คได้คือ 132 ev.(Process time 6/ PT6) ต่ำกว่าที่ระบุไว้ที่ Detector label ยิ่งต่ำกว่ายิ่งดี ผลที่เช็คเราเช็คจากเครื่อง SEM ถ้าเราเช็คจาก FE-SEM เราจะได้ค่า ประมาณ 127-129 ev. (Detector label it was 133 ev.)
เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue

มาถึงขั้นตอนนี้ให้ปรับ Input rate เกิน 1000 cps. ขึ้นไป โดยปรับ Beam Probe/Spot size

ปรับ Input rate เกิน 1000 cps. ได้แล้วคลิก OK

หลังคลิก OK จะได้ผลตามภาพ เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue

หลังได้ผลตามภาพ เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue

ขั้นตอนการเช็ค Detector ของเราก็เสร็จทุกขั้นตอน เสร็จแล้วคลิก OK

หลังคลิก OK จะกลับมาหน้านี้ แล้วเราก็คลิก Close

ถ้าจะดูผล และพิมพ์ผลที่เราเช็คมาทั้งหมด ให้คลิกที่ปุ่มปริ้นเตอร์ตามภาพ

คลิกที่ปุ่มปริ้นเตอร์ เราก็จะเจอหน้า Customer Details จะเป็นข้อมูลหน่วยงานเรา ที่ Engineer ได้ป้อนข้อมูลไว้ตั้งแต่ติดตั้ง ส่วนนี้เราสามารถแก้ไขข้อมูลนี้ได้ เสร็จ แล้วก็คลิก OK

หลังคลิกที่ OK เราจะได้หน้า Report ออกมา 2 หน้าจะเป็นรายละเอียดเกี่ยวกับ Link ISIS Tower,Power supply,ISIS software,Error และค่า Resolution ที่ เราเช็คได้ และสามารถปริ้นผลเก็บได้

ถ้าผลการเช็คเราได้ผลออกมาไม่ดี ยังมีวิธีแก้ไขได้ด้วย End user หลายวิธีด้วยกัน ประมาณ 4 วิธีด้วยกัน ถ้า 4วิธีนี้ทำแล้วเหมือนเดิมก็ต้องตาม Engineer แล้วละครับ ติดตามวิธีกับบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไปครับ
สำหรับ End user ท่านใดที่มีรุ่น INCA series และ AZtec series ก็ให้ตามช่างมา ช่วยเช็คให้แล้วกัน โดยส่วนใหญ่ Engineer จะเช็คให้อยู่แล้ว เวลาช่างมาทำ PM และ Column Cleaning ส่วนผมจะเช็คมากกว่าที่กล่าวมา คือเช็คความแม่นยำของตัวตรวจ จับ หรือ Detector Accuracy เพิ่มเติม รอและติดตามบทความนี้ต่อไปครับ

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ)
หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่ อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************

resolution check,eds resolution,edx resolution,detector resolution,resolution,link isis resolution

บทความน่าสนใจอื่นๆ

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด