Mapping แบบใหนดีกว่ากันระหว่าง Quant Mapping กับ Speed Mapping

การวิเคราะห์การกระจายตัว และหาตำแหน่งของสาร/ธาตุ ด้วยวิธีการ Mapping

ภาพที่เราถ่ายจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด และแบบส่องผ่านบางเครื่องบางรุ่น และ จากเครื่อง FE-SEM , EPMA เราจะได้ภาพเป็น SEI (Secondary Electron Image) เป็นหลักและรอง ต่อมาคือภาพแบบ BEI (Backscattered Electron Image)

ภาพนี้เป็นภาพที่ได้จากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ซึ่งเราจะได้รายละเอียด ทางกายภาพ ลักษณะขนาด Grain size เป็นต้น ถ้าจะให้บอกว่าภาพที่เห็นเป็นเนื้อเดียวกันหรือไม่เป็น ถ้าไม่เป็น สาร/ธาตุแต่ละตัวอยู่บริเวณใดของตัวอย่าง ที่เราถ่าย คงเป็นการยากที่เราจะใช้ภาพนี้อธิบาย
ตามภาพถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์) กำลังขยาย x 500 เท่า สเกล 50 um (ไมครอน) หรือ 0.05 มิลลิเมตร ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

มาดูภาพจากเครื่องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM จากอีกหนึ่งตัวตรวจจับสัญญาณ นั้นคือจาก BEI Detector เป็นภาพแบบ BEI COMPO ที่เพิ่ม Shadows หรือเงาเข้าไปในภาพ ทำให้เราได้ รายละเอียดเพิ่มเติมจากภาพแบบ SEI ว่า ตัวอย่างเราไม่ได้เป็นเนื้อเดียวกัน และมีโครงสร้างที่กระจาย ที่เรา ทราบเพราะ ข้อดีของ Detectorแบบนี้คือ มันจะแยกความแตกต่างของสาร และแสดงตามเลขมวลอะตอม (Atomic No./ Z) ตามภาพล่างเป็นภาพแบบ BEI COMPO โทนสีมืดคือธาตุเบาจะมีAtomic No.น้อย ส่วน โทนสีสว่างคือธาตุ หนักจะมีAtomic No.มาก พอเราทราบแบบนี้เราจะทราบได้อย่างไรว่าตรงจุดที่มีสีดำ สีขาว สีเทาเป็นธาตุ อะไรบ้าง ก็คงไม่ทราบ เราก็ต้องวิเคราะห์ต่อด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX กันต่อ

ตามภาพถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์) กำลังขยาย x 500 เท่า สเกล 50 um (ไมครอน) หรือ 0.05 มิลลิเมตร ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ BEI COMPO+SHADOWS
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

เรามาวิเคราะห์ด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณเชิงคุณภาพกันต่อ แบบรวบรัดโดยไม่ขอนำ Spectrum และค่าเชิงปริมาณที่เป็นตัวเลขมาแสดง เราจะนำกราฟมาแสดงดังภาพล่าง จากตัวอย่าง ตามภาพด้านบน พอเรายิงด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX เราจะได้ผลว่าตัวอย่างเรามีสาร มีธาตุ และมีปริมาณ ของสาร/ธาตุ นั้นๆอยู่ปริมาณมากน้อยเท่าไร แล้วเรื่องตำแหน่งละบอกได้ไหมว่าแต่ละ ตำแหน่งมีธาตุอะไรบ้าง ถ้าจะใช้วิธีนี้เราอาจจะเหนื่อยกันซักหน่อย เพราะต้องใช้วิธียิงเป็นจุดๆไป (Point Analysis) แบบนี้ต้องยิงมากกว่าสิบกว่าจุดแน่ๆ

มีวิธีการหาการกระจายตัวของสาร/ธาตุแบบสะดวกรวดเร็ว และไม่เร็ว นั้นก็คือการวิเคราะห์แบบ Mapping

โดยทั่วไปจะมีวิธีการ การทำ Mapping กันอยู่ 2 ประเภทหลักคือ

1. Analog Mapping แบบนี้เป็นวิธีดั้งเดิม ใช้วิธีเครื่องวิเคราะห์ธาตุจับสัญญาณสาร/ธาตุ แล้วย้อนกลับมา     ถ่ายภาพที่เครื่อง SEM ถ่ายออกมาเป็น ฟิล์มที่จะต้องนำไปล้างอัดกันต่อ หรือถ่ายลงโพราลอยด์ฟิล์มก็จะ     สะดวกขึ้นมา แต่เรื่องของผลที่ได้จะ เป็นภาพขาวดำจะทราบตำแหน่ง มากน้อยต้องสังเกตุการกระจายตัวของ Map ธาตุนั้นเอา

2. Digital Mapping แบบนี้จะเป็นวิธีที่นิยมกันมากที่สุด เพราะสามารถเก็บข้อมูลลงคอมพิวเตอร์ สามารถ     ทำMap แบบขาวดำ และแบบสีที่สามารถให้รายละเอียดมากยิ่งขึ้น ดีกว่าแบบAnalog

บทความนี้เราจะนำตัวอย่างที่เราถ่ายภาพ BEI Compo มาทำ Mapping กันต่อแบบ Digital Mapping ซึ่ง Mapping แบบนี้ก็มีอีก 2 วิธีคือ 1.Speed Mapping 2.Quant Mapping

Speed Mapping
ชื่อก็บอกแล้วว่า เป็นการทำMapping ที่รวดเร็ว ใช้เวลาประมาณ 2-20 นาที/จุด/ตำแหน่ง
ข้อดี   : 1.ให้ผลรวดเร็ว 2.ประหยัดค่าบริการ
ข้อเสีย : 1.ให้ผลเป็น Cps.(count per second) บอกเพียงแต่มีมากมีน้อย ไม่มีณ.บริเวณใดๆ แต่บอกเป็น Element %ไม่ได้

วิธีการดูผล ช่องแรกบนซ้ายมือ คือภาพBEI COMPO ที่ได้จากเครื่อง SEM (ภาพBEI ดูง่ายกว่า SEI) ส่วนช่องที่เหลือ คือธาตุที่เราเลือกมาทำ Mapping ตอนที่เราวิเคราะห์เชิงคุณภาพเราทราบมีธาตุอะไร เราก็เลือกมาทำ โดย ที่ไม่จำเป็นจะต้องเลือกให้ครบทุกธาตุ หรือจะครบทุกธาตุก็ได้ เรามาดูแต่ละช่องที่เป็นธาตุเป็นตัวๆ เรายกตัวอย่างช่องแมงกานีส Mn ซึ่งจะมีตัวหนังสือและเลขกำกับไว้ว่า MnK , 11 ความหมาย Mn คือแมงกานีส K คือ K shell (K,L,M,N) ส่วน 11คือค่า Cps.(count per second) ซึ่งหมายถึง X-rayของ Mn 11ตัววิ่งมาชนหน้าEDS/EDX Detector จำนวนทั้งหมด 11 x-ray/1วินาที ยิ่ง ให้ตัวเลขนี้มากเท่าไร ความละเอียดของผลก็จะมากตาม นั้นก็หมายถึงเราต้องใช้เวลาเพิ่มมากขึ้นด้วย ช่อง Mn เราจะใส่สีThermal เข้าไปโทนสว่างมากเหลืองไปขาวหมายถึงมี Mnมาก สีแดงน้ำตาลมีรองลงมา ส่วนน้ำเงินมีน้อย และสีดำคือตำแหน่งนั้นไม่มี Mn โดยต้องดูเทียบกับช่องแรกบนซ้ายสุด ส่วนการดูผลธาตุอื่น ในช่องอื่นๆการดูก็เหมือนๆกัน

ภาพ Speed Mapping โดย www.dosem24hr.com  ภาพจริงมีขนาดใหญ่กว่านี้ 20%

Quant Mapping

ข้อดี       : 1.แม่นยำ 2.ผลละเอียด 3.บอกเป็น Element % (จะคล้าย Mapที่ได้จากเครื่อง EPMA)
ข้อเสีย   : 1.ใช้เวลาในการทำต่อตำแหน่ง 4-6ชั่วโมง 2.ค่าบริการแพงกว่า Speed mapค่อนข้างมาก

การดูผล ก็คล้ายๆกับแบบ Speed แต่ค่าที่ได้จะเป็น Element% แทน ยกตัวอย่างเรามาดูช่อง Fe เหล็กเราก็จะรู้คร่าวๆ ว่าบริเวณใดของภาพที่มีเหล็กมากก็จะออกสี แดง ชมพูไป ขาว ส่วนมีไม่มากออกน้ำเงิน ดำคือตำแหน่งนั้นไม่ มีเหล็กเลย
ภาพ Quant Mapping โดย www.dosem24hr.com  ภาพจริงมีขนาดใหญ่กว่านี้ 20%

เราจะมีตัวช่วยในการดู Quant Mapping โดยเรียก Quant colour key ออกมาเทียบเป็น% ตามภาพด้าน ล่างเลย จะแบ่งเฉดสีออกเป็น 10ช่วงช่วงละ 10% ครบ100%พอดี เราต้องการทราบธาตุใดเราก็เอาKey นี้ไปเทียบตามช่องได้เลย ส่วน Speed mapping ก็มี Key เหมือนกันแต่ค่าเป็น Cps.

เรามาเทียบระหว่าง Map ทั้งสองกัน จะได้เห็นกันชัดๆ  โดยMn ภาพซ้ายคือผลจากการทำ Speed mapping (20นาที)  ส่วนภาพด้านขวาภาพที่ได้จาก Quant Mapping(4 ชั่วโมง) จะเห็นชัดเลยว่า การทำ Mapping แบบ Quant Mapping จะดีกว่าละเอียดกว่า Speed Mapping เยอะเลย ในเมืองไทยส่วนใหญ่นิยมใช้และให้บริการแบบ Speed mapping กันส่วนแบบ Quant Mapping ไม่ค่อยมีใครทำ สาเหตุหลักเพราะถูกประหยัดกว่านั้นเอง
ถ้าท่านใดสนใจทำ Quant mapping  ติดต่อที่ www.dosem24hr.com

  

**************************************************************************

ตำแหน่งการกระจายตัวของสาร,ตำแหน่งการกระจายตัวของธาตุ,MAP,MAPPING,SPEED MAP, QUANT MAP,SPEED MAPPING,QUANT MAPPING,X-ray mapping,วิเคราะห์ธาตุแบบ Mapping, EDS Mapping,EDX Mapping

บทความน่าสนใจอื่นๆ

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

โฆษณา

EDS Services. บริการเครื่องวิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพด้วย EDS

EDS Services รับบริการวิเคราะห์ะธาตุ เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ
(Qualitative and Quantitative analysis) ตั้งแต่ธาตุ Bโบรอน- U ยูเรเนียม,
Detection limit 0.1% ตลอด 24 ชั่วโมง ไม่มีวันหยุด

การวิเคราะห์เชิงปริมาณ Quantitative
การวิเคราะเชิงปริมาณ Quantitative Analysis หาปริมาณ%ธาตุในตัวอย่าง, Element% ,Atomic%

sem quant

sem quant หาปริมาณ element%, atomic %

sem quant 1sp

Qualitative analysis

sem quant

sem quant , Quantitative analysis

sem quant , Quantitative analysis

sem quant , Quantitative analysis

sem quant

sem quant , Quantitative analysis แบบกราฟแท่ง

sem quant 5

sem quant , Quantitative analysis

การวิเคราะเชิงคุณภาพ  Qualitative Analysis
สามารถวิเคราะห์ได้ตั้งแต่ธาตุ B ถึง U ตามตารางธาตุ
Resolution 129 ev.

Identify EDS peak

Identify EDS peak

spectrum copy

X-ray spectrum copy

spectrum printing

spectrum printing

EDX X-ray spectrum

EDS X-ray spectrum, Qualitative analysis

spectrum zoom

spectrum zooming

วิเคราะห์แบบ Mapping ธรรมดา(Speed mapping)

วิเคราะห์แบบ Mapping (Speed maping) ต่อตำแหน่ง (ไม่เกิน 4ธาตุ)
ถ้าเกิน 4 ธาตุ คิดธาตุที่เกินธาตุละ 200 บาทค่ะ
Speed maping ใช้เวลาทำ 2-5 นาที / ตำแหน่ง

Mix Mapping

speed mapping

speed mapping

Speed mapping

speed map 2

speed map 2

Mix Mapping

speed mapping

speed mapping

การวิเคราะห์ธาตุ Line scan (speed Linescan)
การวิเคราะห์ธาตุ Line scan (speed linescan) 1ตำแหน่งเลือกได้ไม่เกิน 4 ธาตุ ,เกินคิดเพิ่มธาตุละ 200 บาท
Speed linescan ใช้เวลาทำ 2-5 นาที / ตำแหน่ง

linescan mix

linescan mix รวม Linescan กับภาพ

Mix Linescan

linescan mix

linescan mix , Element mix

linescan mix

linescan mix 2 element with Autobeam image

linescan mix4

linescan mix, Line บนภาพ Autobeam

Speed Linescan

linescan1

ลากเส้นกำหนดตำแหน่งทำ linescan

Speed Linescan

linescan 4 ธาตุ

Speed line scan แกน Yจะบอกเป็น cts.(ไม่เหมือนQuant linescan บอกเป็น %element.)

Quant Mapping ใช้เวลาทำ  4-6 ชม. /ตำแหน่ง ราคานี้ยังไม่รวมชั่วโมงการใช้เครื่อง SEM

*     Mapping แบบ Speed map ใช้เวลาทำ 2-5 นาที / ตำแหน่ง
**   Speed Mapping 500บาท/ตำแหน่ง
*** Speed Mapping เกิน4ธาตุคิด ธาตุละ 200 บาท

** ติดต่อเจ้าหน้าที่ขอรายละเอียดเพิ่มเติมกรณีทำ Quant Mapping ค๊ะ

Quant mapping 1

Quant mapping 1

Quant mapping2

Quant mapping ระดับสีจะบอกถึง %element

Quant Line Scan

Quant Line Scan ปกติ1ตำแหน่งทำให้ 4 ธาตุ, เกิน4ธาตุคิดค่าบริการเพิ่มธาตุละ 500 บาท

**  Speed Line Scan 500บาท/ตำแหน่ง
*** Speed Line Scan เกิน4ธาตุคิด ธาตุละ 200 บาท

Quant line scan 1

Quant line scan 1

Quant line scan 2

Quant line scan แกน Yจะบอกเป็น %element (ไม่เหมือนSpeed บอกเป็น cts.)

Quant Line Scan แบบ Mix

Quant line scan mix1

Quant line scan mix1

Quant line scan mix2

Quant line scan mix2

รูป Auto Beam แบบ 1 Point และ Area analysis

auto beam1

auto beam แบบ Area

auto beam

auto beam แบบ Area 2

Auto Beam แบบกำหนดจุด 1 จุด

point analysis

point analysis / Autobeam 1 point

Muti point Analysis

Muti point Analysis (เชิงปริมาณ) 1 ตำแหน่งไม่เกิน 4จุด,จุดที่เกินมาคิดจุด 500 บาท/จุด

Auto beam track

Auto beam track, multi point, 6 point

Auto beam track7 results

Auto beam track results เชิงปริมาณ

sem quant

sem quant เชิงปริมาณ, %element

Muti point Analysis (เชิงคุณภาพ)

Muti point Analysis (เชิงคุณภาพ) 1 ตำแหน่งไม่เกิน 4จุด,จุดที่เกินมาคิดจุด 500 บาท/จุด

Auto beam track1

X-Ray analysis

X-Ray analysis1

Auto beam track3

Auto beam track spectrum 6 point

Muti point Analysis (เชิงปริมาณแบบหาค่าเฉลี่ย จากทุกจุดที่ยิง)

Auto beam track6 aver

Auto beam track แบบหาค่าเฉลี่ย 6 จุด

Area Measurement

area measurement

area measurement วัดหาพื้นที่ของภาพออกมาเป็น %

CAMEO Analysis

CAMEO Analysis

CAMEO Analysis ,สีแดงย่าน kev ต่ำ ส่วนสีฟ้า kevสูง

cameo

cameo

Phase Measurement

Phase Measurement

Phase Measurement วัดเพสของตัวอย่างออกมาเป็น %